НЕФТЬ-ГАЗ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

Теперь на нашем сайте можно за 5 минут создать свежий реферат или доклад

Скачать книгу целиком можно на сайте: www.nglib.ru.

<< Полупроводники <<

Филькевич Э.С. Технология полупроводникового кремния

Скачать книгу здесь
Автор: Филькевич Э.С.
Название: Технология полупроводникового кремния
Год издания: 1992
УДК: 537.311.33
Число страниц: 407
Содержание книги:
Предисловие
Глава!. Физико-химические основы получения полупроводникового кремния
1. Современные представления о строении веществ
2. Кинетические явления
3. Основы термодинамики
4. Механизм фазового перехода
5. Структура межфазной границы раздела
6. Рост кристаллов из жидкой и газовой фаз
Глава II. Свойства полупроводникового кремния и методы их контроля
1. Физико-химические свойства кремния
2. Параметры и методы их определения
Глава Ш. Методы получения чистого кремния, оборудование и технология промежуточных кремнийсодержащих соединений
Глава IV. Технология и оборудование для получения поликристаллических кремниевых стержней
1. Получение кремниевых стержней в процессе водородного восстановления хлор-силанов
Глава V. Выращивание монокристаллов кремния из расплава
1. Метод Чохральского
2. Бестигельная зонная плавка
3. Чистота и микроклимат в производственных помещениях
Глава ^Вспомогательные технологические газы и оборудование
1. Технологические газы
2. Криогенная техника
3. Холодильные машины
4. Вакуумное оборудование------
5. Очистка воды
6. Материалы аппаратов
Глава VQ. Основные элементы техники безопасности
Библиографический список
Глоссарий:
а б в г д е ж з и к л м н о п р с т у ф х ц ч ш э я
Смотреть страницы:
2 3 44 84 124 164 204 244 284 324 364 404 406 407
Полнотекстовый поиск по книге:
Введите слово или фразу для поиска:
Близкие по содержанию книги:
Технология полупроводниковых материалов
Электротехника, электропривод >> Электроника и радиотехника >> Полупроводники
Технология полупроводниковых приборов
Электротехника, электропривод >> Электроника и радиотехника >> Полупроводники
Синтезы минералов Том2
Химическая технология >> Прочее

Просмотреть оригинальные страницы книг в формате djvu можно на сайте: www.nglib.ru.


Главный редактор проекта: Мавлютов Р.Р.
oglib@mail.ru