НЕФТЬ-ГАЗ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

Теперь на нашем сайте можно за 5 минут создать свежий реферат или доклад

Скачать книгу целиком можно на сайте: www.nglib.ru.

<< Полупроводники <<

Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов

Скачать книгу здесь
Автор: Нашельский А.Я.
Название: Технология полупроводниковых материалов
Год издания: 1987
УДК: 621.382
Число страниц: 336
Содержание книги:
Предисловие
Глава 1. Полупроводники
§ 1. Общие сведения о полупроводниках
Глава 2. Основные и вспомогательные материалы полупроводникового производства
§ 1. Чистое вещество
§ 2. Подготовка основных материалов
§ 3. Подготовка вспомогательных материалов
Глава 3. Технология поликристаллических полупроводников
§ 1. Германий
§ 2. Кремний
.§ 3. Полупроводниковые соединения
Глава 4. Технология объемных монокристаллов полупроводников
§ 1. Методы выращивания монокристаллов
§ 2. Распределение примеси в процессах направленной кристаллизации
§ 3. Легирование и компоновка
§ 5. Получение высокочистых монокристаллов
.§ 6. Получение монокристаллов с совершенной структурой
Глава 5. Технология подложек
§ 1. Подготовка монокристаллов к резке на пластины
.§ 2. Резка монокристаллов
§ 4. Полировка пластин
§ 5. Межоперационная и финишная очистка пластин
§ 6. Контроль технологического процесса изготовления подложек и их качества
Глава 6. Технология эпитаксиальных структур
§ 1, Получение однослойных структур кремния и германия из газовой фазы
.§ 2. Получение эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений
Приложение. Аттестация продукции
Предметный указатель
Глоссарий:
а б в г д е ж з и к л м н о п р с т у ф х ц ч ш э
Смотреть страницы:
1 2 36 69 102 135 168 201 234 267 300 333 335 336
Полнотекстовый поиск по книге:
Введите слово или фразу для поиска:
Близкие по содержанию книги:
Технология полупроводникового кремния
Электротехника, электропривод >> Электроника и радиотехника >> Полупроводники
Технология полупроводникового кремния
Химическая технология >> Общая и неорганическая химия >> Прочее
Технология полупроводниковых приборов
Электротехника, электропривод >> Электроника и радиотехника >> Полупроводники

Просмотреть оригинальные страницы книг в формате djvu можно на сайте: www.nglib.ru.


Главный редактор проекта: Мавлютов Р.Р.
oglib@mail.ru